氣膜厚度檢測工裝

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202120347037.7 申請日 -
公開(公告)號 CN214747861U 公開(公告)日 2021-11-16
申請公布號 CN214747861U 申請公布日 2021-11-16
分類號 G01B21/08(2006.01)I;G01B7/06(2006.01)I 分類 測量;測試;
發(fā)明人 張瀟飛;彭輝;張松;劉倫 申請(專利權(quán))人 ??怂箍抵圃熘悄芗夹g(shù)(青島)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 青島聯(lián)智專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 代理人 侯艷艷
地址 266500山東省青島市高新區(qū)火炬路91號藍(lán)灣智谷2號樓302室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型提供了一種氣膜厚度檢測工裝,可通過檢測氣膜厚度來檢定氣浮導(dǎo)軌表面精度是否滿足要求,解決現(xiàn)有技術(shù)觸針測量法測量氣浮導(dǎo)軌面精度低、存在隨機(jī)誤差、可能對待測表面產(chǎn)生損傷的問題。所述氣膜厚度檢測工裝包括氣浮支撐機(jī)構(gòu)、固定支撐機(jī)構(gòu)和負(fù)載組件,氣浮支撐機(jī)構(gòu)包括氣浮塊和支撐組件,支撐組件位于氣浮塊上方并與氣浮塊連接為一體,負(fù)載組件水平支撐在支撐組件上,且其一端與固定支撐機(jī)構(gòu)鉸接。通過氣膜厚度檢測工裝,并施加固定氣壓及負(fù)載,并測出氣膜厚度,通過與標(biāo)定厚度進(jìn)行比對,直觀反映氣浮導(dǎo)軌面精度狀況,達(dá)到終檢效果;本工裝在測量過程中不會(huì)同花崗石氣浮導(dǎo)軌面產(chǎn)生相對摩擦接觸,不會(huì)對其產(chǎn)生損傷。