氣膜厚度檢測(cè)工裝

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202120347037.7 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN214747861U 公開(kāi)（公告）日 2021-11-16
申請(qǐng)公布號(hào) CN214747861U 申請(qǐng)公布日 2021-11-16
分類(lèi)號(hào) G01B21/08（2006.01）I;G01B7/06（2006.01）I 分類(lèi) 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 張瀟飛;彭輝;張松;劉倫 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 ?？怂箍抵圃熘悄芗夹g(shù)（青島）有限公司
代理機(jī)構(gòu) 青島聯(lián)智專(zhuān)利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 代理人 侯艷艷
地址 266500山東省青島市高新區(qū)火炬路91號(hào)藍(lán)灣智谷2號(hào)樓302室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型提供了一種氣膜厚度檢測(cè)工裝，可通過(guò)檢測(cè)氣膜厚度來(lái)檢定氣浮導(dǎo)軌表面精度是否滿(mǎn)足要求，解決現(xiàn)有技術(shù)觸針測(cè)量法測(cè)量氣浮導(dǎo)軌面精度低、存在隨機(jī)誤差、可能對(duì)待測(cè)表面產(chǎn)生損傷的問(wèn)題。所述氣膜厚度檢測(cè)工裝包括氣浮支撐機(jī)構(gòu)、固定支撐機(jī)構(gòu)和負(fù)載組件，氣浮支撐機(jī)構(gòu)包括氣浮塊和支撐組件，支撐組件位于氣浮塊上方并與氣浮塊連接為一體，負(fù)載組件水平支撐在支撐組件上，且其一端與固定支撐機(jī)構(gòu)鉸接。通過(guò)氣膜厚度檢測(cè)工裝，并施加固定氣壓及負(fù)載，并測(cè)出氣膜厚度，通過(guò)與標(biāo)定厚度進(jìn)行比對(duì)，直觀(guān)反映氣浮導(dǎo)軌面精度狀況，達(dá)到終檢效果；本工裝在測(cè)量過(guò)程中不會(huì)同花崗石氣浮導(dǎo)軌面產(chǎn)生相對(duì)摩擦接觸，不會(huì)對(duì)其產(chǎn)生損傷。