一種異質(zhì)結(jié)勢(shì)壘變?nèi)莨芗捌渲苽浞椒?/p>

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201010543264.3 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN102468345B 公開(kāi)（公告）日 2013-12-25
申請(qǐng)公布號(hào) CN102468345B 申請(qǐng)公布日 2013-12-25
分類號(hào) H01L29/92(2006.01)I;H01L29/417(2006.01)I;H01L21/329(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 董軍榮;黃杰;田超;楊浩;張海英 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 北京中科仁健科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京華沛德權(quán)律師事務(wù)所 代理人 中國(guó)科學(xué)院微電子研究所
地址 100029 北京市朝陽(yáng)區(qū)北土城西路3號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種異質(zhì)結(jié)勢(shì)壘變?nèi)莨芗捌渲苽浞椒?，屬于微波器件中變?nèi)莨芗夹g(shù)領(lǐng)域。所述變?nèi)莨馨◤闹負(fù)诫sGaAs帽層到GaAs襯底的兩個(gè)臺(tái)階結(jié)構(gòu)，以及從重?fù)诫sGaAs帽層到重?fù)诫sGaAs溝道層的一個(gè)臺(tái)階結(jié)構(gòu)，三個(gè)臺(tái)階結(jié)構(gòu)上覆蓋有介質(zhì)層，介質(zhì)層上設(shè)有引線和PAD。本發(fā)明異質(zhì)結(jié)勢(shì)壘變?nèi)莨苤蠵AD處在襯底層與接觸金屬形成臺(tái)階上，連接引線采用爬坡形式將PAD與陰陽(yáng)極分別連接，避免了復(fù)雜的空氣橋結(jié)構(gòu)，制作簡(jiǎn)便，易于實(shí)現(xiàn)。