具有蹺蹺板結(jié)構(gòu)的兩路集成可變光衰減器的制作方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201010223502.2 申請日 -
公開（公告）號 CN102313985B 公開（公告）日 2014-04-09
申請公布號 CN102313985B 申請公布日 2014-04-09
分類號 G02B26/08(2006.01)I;B81B3/00(2006.01)I 分類 光學;
發(fā)明人 周敬然;張海英 申請（專利權(quán)）人 北京中科仁健科技有限公司
代理機構(gòu) 中科專利商標代理有限責任公司 代理人 中國科學院微電子研究所;中科仁健科技有限公司;北京中科微投資管理有限責任公司;仁建科技有限公司;澳芯集成電路技術(shù)（廣東）有限公司
地址 100029 北京市朝陽區(qū)北土城西路3號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種具有蹺蹺板結(jié)構(gòu)的兩路集成可變光衰減器，該衰減器包括兩對單模光纖(1)、光纖定位結(jié)構(gòu)(2)、具有蹺蹺板結(jié)構(gòu)的可動上電極(3)和固定下電極(4)，其中光纖定位結(jié)構(gòu)(2)是在硅片上腐蝕出的V型槽自對準結(jié)構(gòu)，可動上電極(3)包括微鏡(31、31′)和蹺蹺板式懸臂(32)，其中微鏡(31、31′)分別位于所述懸臂(32)兩端，固定下電極(4)包括硅片上腐蝕出來的凹槽(41)和蒸鍍在凹槽上的金屬電極(42、42′)。本發(fā)明還公開了一種制作具有蹺蹺板結(jié)構(gòu)的兩路集成可變光衰減器的方法。本發(fā)明滿足了兩路集成，有效減小了器件體積，滿足了當前光電子器件向集成化、小型化發(fā)展的需求。