紅外傳感器開(kāi)關(guān)器件及其制作方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201010572107.5 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN102480285B 公開(kāi)（公告）日 2014-07-09
申請(qǐng)公布號(hào) CN102480285B 申請(qǐng)公布日 2014-07-09
分類號(hào) H03K17/78(2006.01)I 分類 基本電子電路;
發(fā)明人 劉瑞文;焦斌斌;李志剛;陳大鵬 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 北京中科仁健科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京市立方律師事務(wù)所 代理人 中國(guó)科學(xué)院微電子研究所;中科仁健科技有限公司
地址 100029 北京市朝陽(yáng)區(qū)北土城西路3號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)了一種基于微細(xì)加工技術(shù)的、利用雙材料梁的殘余應(yīng)力來(lái)進(jìn)行工作的紅外傳感器開(kāi)關(guān)器件及其制作方法，所述制作方法首先提供一個(gè)襯底；然后在所述襯底上淀積并刻蝕形成金屬梁，以形成第一電極；接著在所述結(jié)構(gòu)上淀積形成犧牲層；以及在所述犧牲層上方依次淀積金屬和非金屬材料，刻蝕并釋放形成雙層材料懸臂梁，以形成可與所述第一電極接觸的第二電極，所述雙材料懸臂梁的下層金屬材料應(yīng)具有張應(yīng)力，所述雙材料懸臂梁的上層非金屬材料應(yīng)具有壓應(yīng)力。本發(fā)明提出的紅外傳感器開(kāi)關(guān)器件結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單實(shí)用，體積小，且制作工藝簡(jiǎn)單，同時(shí)巧妙利用了雙材料懸臂梁的殘余應(yīng)力來(lái)進(jìn)行工作。