RWG型DFB激光器脊條上圖形窗口的實現(xiàn)工藝

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201810670020.8 申請日 -
公開（公告）號 CN108649428A 公開（公告）日 2018-10-12
申請公布號 CN108649428A 申請公布日 2018-10-12
分類號 H01S5/12;H01S5/22;G03F7/00 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 曲迪;白國人;陳墨;梁娟;宋學(xué)潁 申請（專利權(quán)）人 華慧高芯科技（深圳）有限公司
代理機構(gòu) 天津市鼎和專利商標(biāo)代理有限公司 代理人 華慧芯科技（天津）有限公司;天津華慧芯科技集團有限公司;華慧高芯科技（深圳）有限公司
地址 300467 天津市濱海新區(qū)生態(tài)城中天大道1620號生態(tài)科技園啟發(fā)大廈12層101
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種RWG型DFB激光器脊條上圖形窗口的實現(xiàn)工藝。屬于微電子技術(shù)、光纖通信技術(shù)領(lǐng)域，其特征在于，至少包括以下步驟：步驟一：基片清洗；步驟二：在基片表面旋涂雙層光刻膠，通過曝光顯影，將光刻版上的圖案轉(zhuǎn)移至基片表面；步驟三：以光刻膠作掩膜，刻蝕出脊形波導(dǎo)結(jié)構(gòu)；步驟四：利用原子層沉積法沉積薄膜作為絕緣層；步驟五：通過Lift?off剝離工藝，去除光刻膠連同脊波導(dǎo)上方的薄膜，完成脊條上圖形開窗。通過采用上述技術(shù)方案，本發(fā)明在保證工藝效果的基礎(chǔ)上，簡化了工藝流程，并且能夠降低制造的成本。