一種PEMS設備專用的氣體分配器

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202121994654.2 申請日 -
公開（公告）號 CN215866594U 公開（公告）日 2022-02-18
申請公布號 CN215866594U 申請公布日 2022-02-18
分類號 G01N33/00（2006.01）I;G01D21/02（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 張英志;王敬明;李兆勝;王立祥 申請（專利權）人 淄博青禾檢測科技有限公司
代理機構 北京鍾維聯(lián)合知識產(chǎn)權代理有限公司 代理人 郝姍姍;原春香
地址 255000山東省淄博市高新區(qū)青龍山路9009號儀器儀表產(chǎn)業(yè)園17號樓A2座1層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型涉及一種PEMS設備專用的氣體分配器。包括殼體、電源接口、NO輸入口，O2輸入口、N2輸入口、第一壓力傳感器、第二壓力傳感器、第三壓力傳感器、第一電磁閥、第二電磁閥、第三電磁閥、第一流量計、第二流量計、第三流量計、第一單向閥、第二單向閥、第三單向閥、臭氧發(fā)生器、混氣罐、出氣口、控制面板，所述NO輸入口通過NO管線連接混氣罐的進口，所述O2輸入口通過O2管線連接臭氧發(fā)生器的進氣端，所述N2輸入口通過N2管線連接臭氧發(fā)生器的進氣端，所述臭氧發(fā)生器的出氣端連接混氣罐的進口，所述混氣罐的出口連接出氣口。本實用新型能夠實現(xiàn)氣體的分配。