一種伺服驅(qū)動(dòng)雙擺臂裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202122765220.1 申請(qǐng)日 -
公開(公告)號(hào) CN216054628U 公開(公告)日 2022-03-15
申請(qǐng)公布號(hào) CN216054628U 申請(qǐng)公布日 2022-03-15
分類號(hào) H01L21/677(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I;H01L21/687(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 陳勇伶 申請(qǐng)(專利權(quán))人 深圳市矽谷半導(dǎo)體設(shè)備有限公司
代理機(jī)構(gòu) 廣東科言知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 代理人 鐘茵茵
地址 518000廣東省深圳市寶安區(qū)福永街道白石廈社區(qū)東區(qū)新塘工業(yè)區(qū)4棟301
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種伺服驅(qū)動(dòng)雙擺臂裝置,包括擺臂旋轉(zhuǎn)控制裝置以及擺臂垂直上下控制機(jī)構(gòu),其中擺臂旋轉(zhuǎn)控制裝置包括一內(nèi)設(shè)有氣路的旋轉(zhuǎn)軸,旋轉(zhuǎn)軸通過(guò)同軸器連接有一旋轉(zhuǎn)伺服電機(jī);擺臂垂直上下控制機(jī)構(gòu)包括設(shè)于旋轉(zhuǎn)軸的底部的擺臂中座,擺臂中座的前后兩側(cè)分別上下滑動(dòng)安裝有一擺臂組件,擺臂組件傳動(dòng)連接有升降伺服電機(jī),升降伺服電機(jī)與所述控制裝置信號(hào)連接。與現(xiàn)有技術(shù)相比,輕量化的旋轉(zhuǎn)軸降低了旋轉(zhuǎn)慣性,提高擺臂的動(dòng)作精準(zhǔn)度,用伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng)降低成本,由氣動(dòng)滑環(huán)組成的氣路結(jié)構(gòu)降低氣管對(duì)擺臂高速運(yùn)動(dòng)的影響,杜絕傳統(tǒng)氣路連接方式對(duì)擺臂的拉扯,提高擺臂整定和精度。