一種固晶擺臂裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202122760754.5 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN216624215U 公開（公告）日 2022-05-27
申請(qǐng)公布號(hào) CN216624215U 申請(qǐng)公布日 2022-05-27
分類號(hào) H01L21/67（2006.01）I;H01L21/677（2006.01）I;H01L21/66（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 劉維強(qiáng);周燦;陳勇伶 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 深圳市矽谷半導(dǎo)體設(shè)備有限公司
代理機(jī)構(gòu) 廣東科言知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 -
地址 518000廣東省深圳市寶安區(qū)福永街道白石廈社區(qū)東區(qū)新塘工業(yè)區(qū)4棟301
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型涉及晶片封裝生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域，尤其是指一種固晶擺臂裝置，包括力臂座、力臂件以及拾取件，所述力臂件設(shè)置于所述力臂座，所述拾取件設(shè)置于所述力臂件遠(yuǎn)離所述力臂座的一端，所述力臂件設(shè)置有兩個(gè)檢測(cè)件，兩個(gè)檢測(cè)件用于與外界的晶圓抵觸并與該晶圓的接觸高度差檢測(cè)觸點(diǎn)的通斷。本實(shí)用新型通過設(shè)置有兩個(gè)檢測(cè)件，經(jīng)兩個(gè)檢測(cè)件構(gòu)成閉合回路與晶圓接觸的高度差判斷觸點(diǎn)的通段，通過該觸點(diǎn)的通斷判斷對(duì)晶圓的接觸高度的高低，達(dá)到了檢測(cè)效果。