一種直線旋轉(zhuǎn)固晶拾取裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202122688326.6 申請日 -
公開（公告）號 CN216624229U 公開（公告）日 2022-05-27
申請公布號 CN216624229U 申請公布日 2022-05-27
分類號 H01L21/677（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I;H01L21/683（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 陳錦杰 申請（專利權(quán)）人 深圳市矽谷半導(dǎo)體設(shè)備有限公司
代理機(jī)構(gòu) 廣東科言知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 -
地址 518000廣東省深圳市寶安區(qū)福永街道白石廈社區(qū)東區(qū)新塘工業(yè)區(qū)4棟301
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種直線旋轉(zhuǎn)固晶拾取裝置，其包括拾取頭、直線驅(qū)動機(jī)構(gòu)以及旋轉(zhuǎn)驅(qū)動機(jī)構(gòu)，直線驅(qū)動機(jī)構(gòu)設(shè)置有直線基座、直線滑座以及用于驅(qū)動直線滑座相對于直線基座直線滑動的直線驅(qū)動源，旋轉(zhuǎn)驅(qū)動機(jī)構(gòu)設(shè)置有固定安裝于直線滑座的旋轉(zhuǎn)基座、安裝于旋轉(zhuǎn)基座的旋轉(zhuǎn)電機(jī)以及電性連接于旋轉(zhuǎn)電機(jī)的第一編碼器，所以拾取頭轉(zhuǎn)動安裝于旋轉(zhuǎn)電機(jī)的驅(qū)動端。本實用新型通過旋轉(zhuǎn)電機(jī)配合高精度的第一編碼器控制拾取頭旋轉(zhuǎn)，保證拾取頭的旋轉(zhuǎn)精度能精確至角秒級，提高晶圓綁定精度，另外，通過直線驅(qū)動源實現(xiàn)拾取頭直線式升降運動，這樣的結(jié)構(gòu)設(shè)計保證拾取頭的運動位置精度更高，且能夠快速停穩(wěn)。