一種伺服驅(qū)動雙擺臂裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202111332877.7 申請日 -
公開（公告）號 CN113990785A 公開（公告）日 2022-01-28
申請公布號 CN113990785A 申請公布日 2022-01-28
分類號 H01L21/677（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I;H01L21/687（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 陳勇伶 申請（專利權(quán)）人 深圳市矽谷半導(dǎo)體設(shè)備有限公司
代理機構(gòu) 廣東科言知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 鐘茵茵
地址 518000廣東省深圳市寶安區(qū)福永街道白石廈社區(qū)東區(qū)新塘工業(yè)區(qū)4棟301
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種伺服驅(qū)動雙擺臂裝置，包括擺臂旋轉(zhuǎn)控制裝置以及擺臂垂直上下控制機構(gòu)，其中擺臂旋轉(zhuǎn)控制裝置包括一內(nèi)設(shè)有氣路的旋轉(zhuǎn)軸，旋轉(zhuǎn)軸通過同軸器連接有一旋轉(zhuǎn)伺服電機；擺臂垂直上下控制機構(gòu)包括設(shè)于旋轉(zhuǎn)軸的底部的擺臂中座，擺臂中座的前后兩側(cè)分別上下滑動安裝有一擺臂組件，擺臂組件傳動連接有升降伺服電機，升降伺服電機與所述控制裝置信號連接。與現(xiàn)有技術(shù)相比，輕量化的旋轉(zhuǎn)軸降低了旋轉(zhuǎn)慣性，提高擺臂的動作精準度，用伺服電機驅(qū)動降低成本，由氣動滑環(huán)組成的氣路結(jié)構(gòu)降低氣管對擺臂高速運動的影響，杜絕傳統(tǒng)氣路連接方式對擺臂的拉扯，提高擺臂整定和精度。