一種改進(jìn)的草酸銦溶解劑組合物及蝕刻設(shè)備清洗工藝
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202110224947.0 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN113025333A | 公開（公告）日 | 2021-06-25 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN113025333A | 申請(qǐng)公布日 | 2021-06-25 |
| 分類號(hào) | C09K13/06;H01L21/306 | 分類 | 染料；涂料；拋光劑；天然樹脂；黏合劑；其他類目不包含的組合物；其他類目不包含的材料的應(yīng)用; |
| 發(fā)明人 | 邵勇;徐楊;朱永剛;顧維忠;彭聰;胡生望 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 四川江化微電子材料有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 無錫堅(jiān)恒專利代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 杜興 |
| 地址 | 620860 四川省眉山市彭山經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)創(chuàng)新二路東段12號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開了一種改進(jìn)的草酸銦溶解劑組合物，主要組分為堿性組分、螯合劑、pH值調(diào)節(jié)劑和水，螯合劑主要組成為螯合劑A和螯合劑B，螯合劑A為選自氨基多羧酸及其鹽中的至少一種，螯合劑B為羥基多羧酸及其鹽中的至少一種，改進(jìn)的草酸銦溶解劑組合物的pH值為9.5～10.5。本發(fā)明改進(jìn)的草酸銦溶解劑組合物采用復(fù)配螯合劑體系，利用兩種螯合劑在草酸銦溶解劑組合物體系下具有協(xié)同的螯合性能，增加草酸銦的溶解度并且提高溶解速率。本發(fā)明還公開了一種基于草酸銦溶解劑組合物的蝕刻設(shè)備清洗工藝。 |
