一種基于線激光掃描的晶棒三維測(cè)量裝置
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201920262818.9 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN209877902U | 公開(kāi)（公告）日 | 2019-12-31 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN209877902U | 申請(qǐng)公布日 | 2019-12-31 |
| 分類號(hào) | G01B11/24（2006.01） | 分類 | 測(cè)量；測(cè)試; |
| 發(fā)明人 | 李宇翔; 姜寶柱; 李仕豪; 田增國(guó); 陳浩; 張宏帥 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 洛陽(yáng)德晶智能科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 洛陽(yáng)公信知識(shí)產(chǎn)權(quán)事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 洛陽(yáng)德晶智能科技有限公司 |
| 地址 | 471000 河南省洛陽(yáng)市中國(guó)（河南）自由貿(mào)易試驗(yàn)區(qū)洛陽(yáng)片區(qū)高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開(kāi)發(fā)區(qū)濱河北路99號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 一種基于線激光掃描的晶棒三維測(cè)量裝置，包括升降平臺(tái)、晶棒放置平臺(tái)、可視化儲(chǔ)存部分、微處理器部分，還包括線激光掃描儀、用于承載線激光掃描儀的滑塊平臺(tái)、用于滑塊平臺(tái)移動(dòng)的滑臺(tái)軌道、用于驅(qū)動(dòng)滑臺(tái)軌道的滑塊電機(jī)、滑塊固定裝置，升降平臺(tái)、晶棒放置平臺(tái)、可視化儲(chǔ)存部分、線激光掃描儀、滑塊電機(jī)分別與微處理器部分連接；線激光掃描儀位于晶棒放置平臺(tái)的正上方且朝向晶棒放置平臺(tái)設(shè)置，線激光掃描儀連接在滑塊平臺(tái)上，滑塊平臺(tái)相配合的設(shè)置在滑臺(tái)軌道上，滑臺(tái)軌道與其一側(cè)的滑塊電機(jī)電連接，滑臺(tái)軌道上設(shè)有用于固定線激光掃描儀、滑塊平臺(tái)、滑臺(tái)軌道的滑塊固定裝置，實(shí)現(xiàn)了對(duì)晶棒的高精度、高效率、高穩(wěn)定性的測(cè)量。 |
