一種用于單晶爐夾取晶棒時(shí)的對(duì)中裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201920262798.5 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN209619503U 公開（公告）日 2019-11-12
申請(qǐng)公布號(hào) CN209619503U 申請(qǐng)公布日 2019-11-12
分類號(hào) C30B15/30（2006.01）I; C30B29/06（2006.01）I 分類 晶體生長(zhǎng)〔3〕;
發(fā)明人 張軍強(qiáng); 丁寧; 田增國(guó); 李仕豪; 李宇翔; 姜寶柱 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 洛陽(yáng)德晶智能科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 洛陽(yáng)公信知識(shí)產(chǎn)權(quán)事務(wù)所（普通合伙） 代理人 洛陽(yáng)德晶智能科技有限公司
地址 471000 河南省洛陽(yáng)市中國(guó)（河南）自由貿(mào)易試驗(yàn)區(qū)洛陽(yáng)片區(qū)高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)濱河北路99號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 為解決現(xiàn)有技術(shù)中人工操作易掉棒的問(wèn)題，本實(shí)用新型提供一種用于單晶爐夾取晶棒時(shí)的對(duì)中裝置，包括殼體、設(shè)置在殼體內(nèi)的控制組件、設(shè)置在殼體上的方向確定組件、位置確定組件以及抓取定位組件；方向確定組件包括用于向爐門側(cè)壁上投射輔助夾爪調(diào)平的輔助線的標(biāo)線器；位置確定組件包括用于分別測(cè)量夾爪的左右兩側(cè)與爐門之間距離的左側(cè)測(cè)距器和右側(cè)測(cè)距器；抓取定位組件包括用于分別測(cè)量夾爪的左右兩側(cè)與爐內(nèi)壁之間距離的左定位器和右定位器；左側(cè)測(cè)距器和右側(cè)測(cè)距器之間的距離大于爐門的寬度并水平的對(duì)稱設(shè)置在殼體面向爐門的一側(cè)。本實(shí)用新型可靠性高，使用后，大大提升了可靠性，減少了企業(yè)的生產(chǎn)成本。