GaN基脊型激光二極管的制備方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201310665266.3 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN103618212B 公開(kāi)（公告）日 2016-03-30
申請(qǐng)公布號(hào) CN103618212B 申請(qǐng)公布日 2016-03-30
分類號(hào) H01S5/343(2006.01)I;H01S5/22(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 孟令海;康香寧;劉寧煬;陳景春;吳勇;劉詩(shī)宇;胡曉東 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 北京燕園中鎵半導(dǎo)體工程研發(fā)中心有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京萬(wàn)象新悅知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 朱紅濤
地址 100080 北京市海淀區(qū)海淀路52號(hào)1705室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)了一種GaN基脊型激光二極管的制備方法。首先，通過(guò)在干法蝕刻脊型之前在脊型的頂部使用P區(qū)接觸金屬電極作擋光層，然后使用旋涂技術(shù)涂布負(fù)性光敏性熱固化涂層膠。其次，通過(guò)背向曝光技術(shù)實(shí)現(xiàn)第二次光刻，擋光層可以有效阻止紫外光對(duì)脊型頂部光刻膠的曝光，實(shí)現(xiàn)光刻圖形。最后，根據(jù)負(fù)性光敏性熱固化涂層膠的性質(zhì)，通過(guò)高溫固化手段得到結(jié)構(gòu)完整規(guī)則的絕緣層。本發(fā)明的特點(diǎn)在于同時(shí)解決了目前脊型激光器電極窗口對(duì)準(zhǔn)困難和絕緣層開(kāi)窗口條件難于掌控的問(wèn)題。