一種薄膜縱向不均勻性檢測方法、裝置及終端和檢測系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201910273286.3 申請日 -
公開（公告）號 CN111781148A 公開（公告）日 2020-10-16
申請公布號 CN111781148A 申請公布日 2020-10-16
分類號 G01N21/21;G01N21/27 分類 測量；測試;
發(fā)明人 孫瑤;鐘大龍;王新宇 申請（專利權(quán)）人 神華（北京）光伏科技研發(fā)有限公司
代理機構(gòu) 北京潤平知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 王崇
地址 102209 北京市昌平區(qū)北七家鎮(zhèn)未來科技城定泗路237號都市綠洲313A室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開一種薄膜縱向不均勻性檢測方法、裝置、檢測系統(tǒng)以及終端，涉及薄膜檢測技術(shù)領(lǐng)域，以提高無損檢測薄膜縱向不均勻性方法的適用范圍。該薄膜縱向不均勻性檢測方法包括：接收被測樣品的橢偏光譜曲線信息，被測樣品至少包括被測薄膜；根據(jù)被測樣品的特性建立各向同性的物理模型，物理模型至少包括薄膜模型；將薄膜模型所含有的至少一個變量參數(shù)轉(zhuǎn)換為梯度化變量參數(shù)；以被測樣品的橢偏光譜曲線信息為曲線擬合目標(biāo)，利用薄膜模型對梯度化變量參數(shù)進行曲線擬合，獲得被測樣品的光電參數(shù)在被測樣品縱向方向上的變化曲線信息；根據(jù)變化曲線信息確定被測樣品的縱向不均勻性。本發(fā)明用于薄膜縱向不均勻性檢測。