一種管式PECVD真空泵尾排吹掃T型裝置
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201922030084.4 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN210765503U | 公開(kāi)（公告）日 | 2020-06-16 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN210765503U | 申請(qǐng)公布日 | 2020-06-16 |
| 分類(lèi)號(hào) | C23C16/513(2006.01)I | 分類(lèi) | - |
| 發(fā)明人 | 馮林;李權(quán);張軍 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 湖北天合光能有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京天奇智新知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 楊文錄 |
| 地址 | 433000湖北省仙桃市桃花嶺大道中段28號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型公開(kāi)的屬于機(jī)械設(shè)備配件技術(shù)領(lǐng)域，具體為一種管式PECVD真空泵尾排吹掃T型裝置，包括弧形管、第一管道和彎管，所述弧形管的右側(cè)壁固定連接所述第一管道，所述第一管道的左側(cè)壁貫穿所述弧形管的內(nèi)腔右側(cè)壁后與所述彎管的右側(cè)壁螺紋連接，該種管式PECVD真空泵尾排吹掃T型裝置，將裝置用真空卡箍與管道密封連接，打開(kāi)手動(dòng)閥，足夠壓力的壓縮空氣可以將真空管道內(nèi)的粉塵順利地吹向燃燒桶，配合彎管，使吹風(fēng)過(guò)程沿內(nèi)壁弧形上升，可把底部沉積的粉塵同步清理，避免堆積，避免人工清理粉塵的人力消耗和粉塵污染問(wèn)題，為真空泵提供了良好的抽風(fēng)的環(huán)境，增加真空泵尾排抽風(fēng)量，延長(zhǎng)其使用壽命，減少大筆維修成本。?? |
