一種硅片刻蝕帶葉滾輪裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201820360128.2 申請日 -
公開（公告）號 CN208062086U 公開（公告）日 2018-11-06
申請公布號 CN208062086U 申請公布日 2018-11-06
分類號 H01L31/18;H01L21/67 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 黃俊 申請（專利權）人 湖北天合光能有限公司
代理機構 北京天奇智新知識產(chǎn)權代理有限公司 代理人 劉瓊
地址 433000 湖北省仙桃市桃花嶺大道中段28號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了硅片刻蝕技術領域的一種硅片刻蝕帶葉滾輪裝置，包括底座，所述底座的頂部均勻開設有卡槽，所述底座的頂部均勻開設有第一固定螺孔，兩組所述卡槽在兩組第一固定螺孔之間，所述底座的頂部連接有擋板，所述擋板的底部均勻開設有壓槽，所述擋板的頂部均勻連接有第二固定螺孔，兩組所述壓槽在兩組第二固定螺孔之間，所述卡槽與壓槽之間連接有帶葉滾輪，所述底座與擋板的左側(cè)連接有支撐柱，所述支撐柱的右側(cè)鑲嵌有軸承，本實用新型將原有的平面滾輪軸變?yōu)閹~滾輪，減少了與酸的接觸面，減少了成本，本實用新型滾輪軸通過擋板和螺釘將其固定在底座上，降低了滾輪軸的跳動，提高了生產(chǎn)質(zhì)量。