一種硅片刻蝕帶葉滾輪裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201820360128.2 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN208062086U 公開（公告）日 2018-11-06
申請(qǐng)公布號(hào) CN208062086U 申請(qǐng)公布日 2018-11-06
分類號(hào) H01L31/18;H01L21/67 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 黃俊 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 湖北天合光能有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京天奇智新知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 劉瓊
地址 433000 湖北省仙桃市桃花嶺大道中段28號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了硅片刻蝕技術(shù)領(lǐng)域的一種硅片刻蝕帶葉滾輪裝置，包括底座，所述底座的頂部均勻開設(shè)有卡槽，所述底座的頂部均勻開設(shè)有第一固定螺孔，兩組所述卡槽在兩組第一固定螺孔之間，所述底座的頂部連接有擋板，所述擋板的底部均勻開設(shè)有壓槽，所述擋板的頂部均勻連接有第二固定螺孔，兩組所述壓槽在兩組第二固定螺孔之間，所述卡槽與壓槽之間連接有帶葉滾輪，所述底座與擋板的左側(cè)連接有支撐柱，所述支撐柱的右側(cè)鑲嵌有軸承，本實(shí)用新型將原有的平面滾輪軸變?yōu)閹~滾輪，減少了與酸的接觸面，減少了成本，本實(shí)用新型滾輪軸通過擋板和螺釘將其固定在底座上，降低了滾輪軸的跳動(dòng)，提高了生產(chǎn)質(zhì)量。