一種直寫式光刻機(jī)的電控裝置及直寫式光刻機(jī)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201620920021.X 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN206057793U 公開（公告）日 2017-03-29
申請(qǐng)公布號(hào) CN206057793U 申請(qǐng)公布日 2017-03-29
分類號(hào) G03F7/20(2006.01)I 分類 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕;
發(fā)明人 王新旺;劉濤;楊振玲 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 天津芯碩精密機(jī)械有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京超凡志成知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 天津芯碩精密機(jī)械有限公司
地址 300457 天津市濱海新區(qū)開發(fā)區(qū)黃海路167號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型涉及直寫式光刻機(jī)設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種直寫式光刻機(jī)的電控裝置及直寫式光刻機(jī)。其中，直寫式光刻機(jī)的電控裝置包括上位機(jī)、通信控制器件、激光器控制器件、聚焦控制器件、外圍控制器件和溫濕度監(jiān)測器件；通信控制器件的一端與所述上位機(jī)電連接，另一端分別與激光器控制器件、聚焦控制器件、外圍控制器件以及溫濕度監(jiān)測器件的輸入端電連接；激光器控制器件的輸出端與激光器電連接；聚焦控制器件的輸出端與聚焦電機(jī)電連接；外圍控制器件的輸出端與外圍設(shè)備電連接。直寫式光刻機(jī)包括上述直寫式光刻機(jī)的電控裝置。本實(shí)用新型提供的直寫式光刻機(jī)的電控裝置及直寫式光刻機(jī)，擺脫了上位機(jī)直接控制下位機(jī)的情況，接口連接穩(wěn)定可靠。