對準鏡筒、對準鏡頭及光刻機

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201621254599.2 申請日 -
公開（公告）號 CN206292525U 公開（公告）日 2017-06-30
申請公布號 CN206292525U 申請公布日 2017-06-30
分類號 G03F7/20;G03F9/00;G02B7/02 分類 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕;
發(fā)明人 劉寶金;劉濤;王喜寶 申請（專利權(quán)）人 天津芯碩精密機械有限公司
代理機構(gòu) 北京超凡志成知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 天津芯碩精密機械有限公司
地址 300457 天津市濱海新區(qū)開發(fā)區(qū)黃海路167號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型涉及光刻技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種對準鏡筒、對準鏡頭及光刻機。對準鏡筒包括第一鏡筒和第二鏡筒；第一鏡筒沿長度方向設(shè)置有第一光路通道，第一光路通道貫穿第一鏡筒；第二鏡筒沿長度方向設(shè)置有第二光路通道，第二光路通道貫穿所述第二鏡筒；第一鏡筒的第一端與第二鏡筒的第三端可拆卸連接，第一鏡筒的長度方向與第二鏡筒的長度方向重合；對準鏡頭包括上述對準鏡筒，還包括第一鏡片組和第二鏡片組；光刻機包括上述對準鏡頭。本實用新型的目的在于提供一種對準鏡筒、對準鏡頭及光刻機，以解決現(xiàn)有的對準鏡筒存在的筒體細長，給機械加工和后期光學鏡片的裝配帶來了難度的技術(shù)問題。