應(yīng)用于激光成像系統(tǒng)中不同厚度基板的標(biāo)定方法及裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201310659550.X 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN103615979B 公開（公告）日 2018-04-03
申請(qǐng)公布號(hào) CN103615979B 申請(qǐng)公布日 2018-04-03
分類號(hào) G01B11/00;G01B11/03 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 李顯杰;趙飛 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 天津芯碩精密機(jī)械有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京超凡志成知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 天津芯碩精密機(jī)械有限公司
地址 300457 天津市濱海新區(qū)天津開發(fā)區(qū)黃海路167號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種應(yīng)用于激光成像系統(tǒng)中不同厚度基板的標(biāo)定裝置，所述標(biāo)定裝置包括：工作平臺(tái)、龍門、標(biāo)定尺、斜墊塊、圖像采集設(shè)備CCD，單軸位移平臺(tái)，所述吸盤放置于所述工作平臺(tái)上，所述標(biāo)定尺放置于所述斜墊塊上且設(shè)置有等間距的固定圖形，所述斜墊塊放置于所述吸盤一側(cè)，所述工作平臺(tái)上設(shè)有龍門，所述CCD通過所述單軸位移平臺(tái)與所述龍門上滑動(dòng)連接。相應(yīng)地，本發(fā)明提供了一種應(yīng)用于激光成像系統(tǒng)中不同厚度基板的標(biāo)定方法，本發(fā)明結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，測(cè)量誤差較小，實(shí)用性較強(qiáng)，通過簡(jiǎn)單的結(jié)構(gòu)能夠?qū)崿F(xiàn)標(biāo)定CCD的測(cè)量變化，通過測(cè)量結(jié)果計(jì)算出CCD在圖像采集過程中發(fā)生的偏移誤差，對(duì)CCD的位移平臺(tái)進(jìn)行補(bǔ)償。