應(yīng)用于激光成像系統(tǒng)中不同厚度基板的標(biāo)定方法及裝置
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201310659550.X | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN103615979B | 公開(kāi)（公告）日 | 2018-04-03 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN103615979B | 申請(qǐng)公布日 | 2018-04-03 |
| 分類(lèi)號(hào) | G01B11/00;G01B11/03 | 分類(lèi) | 測(cè)量；測(cè)試; |
| 發(fā)明人 | 李顯杰;趙飛 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 天津芯碩精密機(jī)械有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京超凡志成知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 天津芯碩精密機(jī)械有限公司 |
| 地址 | 300457 天津市濱海新區(qū)天津開(kāi)發(fā)區(qū)黃海路167號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開(kāi)了一種應(yīng)用于激光成像系統(tǒng)中不同厚度基板的標(biāo)定裝置，所述標(biāo)定裝置包括：工作平臺(tái)、龍門(mén)、標(biāo)定尺、斜墊塊、圖像采集設(shè)備CCD，單軸位移平臺(tái)，所述吸盤(pán)放置于所述工作平臺(tái)上，所述標(biāo)定尺放置于所述斜墊塊上且設(shè)置有等間距的固定圖形，所述斜墊塊放置于所述吸盤(pán)一側(cè)，所述工作平臺(tái)上設(shè)有龍門(mén)，所述CCD通過(guò)所述單軸位移平臺(tái)與所述龍門(mén)上滑動(dòng)連接。相應(yīng)地，本發(fā)明提供了一種應(yīng)用于激光成像系統(tǒng)中不同厚度基板的標(biāo)定方法，本發(fā)明結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，測(cè)量誤差較小，實(shí)用性較強(qiáng)，通過(guò)簡(jiǎn)單的結(jié)構(gòu)能夠?qū)崿F(xiàn)標(biāo)定CCD的測(cè)量變化，通過(guò)測(cè)量結(jié)果計(jì)算出CCD在圖像采集過(guò)程中發(fā)生的偏移誤差，對(duì)CCD的位移平臺(tái)進(jìn)行補(bǔ)償。 |
