一種四氯化硅氫化改進(jìn)方法及其裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201210403122.6 申請日 -
公開（公告）號 CN102897770B 公開（公告）日 2015-09-02
申請公布號 CN102897770B 申請公布日 2015-09-02
分類號 C01B33/107(2006.01)I 分類 無機(jī)化學(xué);
發(fā)明人 趙純源 申請（專利權(quán)）人 內(nèi)蒙古鋒威硅業(yè)有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 750336 內(nèi)蒙古自治區(qū)阿拉善盟經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)豐產(chǎn)路9號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開的一種四氯化硅氫化改進(jìn)方法及其裝置，該方法步驟如下：將純度為95～98%的金屬硅粉平鋪于氫化反應(yīng)器中，持續(xù)通入預(yù)熱的四氯化硅氣體、氫氣和氯化氫氣體，反應(yīng)后得到混合氣體A，將混合氣體A依次進(jìn)行干法除塵、濕法除塵后得到混合氣體B，將混合氣體B降溫至并得到混合液體C，將混合液體C送至精餾裝置進(jìn)行分離。該裝置包括依次連接在一起的氫化反應(yīng)器、干法除塵裝置、熱量回收裝置、濕法除塵裝置、降溫裝置、液體儲罐及精餾裝置，其中液體儲罐也連接于濕法除塵裝置上。本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)提供了一種操作簡單方便、連續(xù)穩(wěn)定、節(jié)能降耗的四氯化硅氫化改進(jìn)方法及其裝置。