石墨舟上下料檢測裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202121615916.X 申請日 -
公開（公告）號 CN215177580U 公開（公告）日 2021-12-14
申請公布號 CN215177580U 申請公布日 2021-12-14
分類號 G01B11/16（2006.01）I;H01L21/677（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I;H01L31/18（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 顧生剛;時寶;盛健;林綱正;陳剛 申請（專利權(quán)）人 珠海富山愛旭太陽能科技有限公司
代理機構(gòu) 深圳盛德大業(yè)知識產(chǎn)權(quán)代理事務所（普通合伙） 代理人 張紅偉
地址 300400天津市北辰區(qū)天津北辰經(jīng)濟技術(shù)開發(fā)區(qū)科技園高新大道73號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型適用于太陽能電池領(lǐng)域，提供一種石墨舟上下料檢測裝置，該石墨舟上下料檢測裝置包括，裝卸平臺，位于裝卸平臺的石墨舟、定位裝置、檢測裝置、上下料裝置、震動裝置，以及與定位裝置、檢測裝置、上下料裝置及震動裝置連接的控制裝置。通過該檢測裝置可實現(xiàn)對石墨舟位置的實時定位，實現(xiàn)對石墨舟狀態(tài)的實時監(jiān)控，控制裝置根據(jù)石墨舟的實時位置及形變信息調(diào)整上下料裝置的機械手，以實現(xiàn)準確插片和卸片；并通過震動裝置對硅片進行自動矯正，提高了上下料的效率，并減少人工檢測和監(jiān)控，降低了人工成本，避免了因硅片和石墨舟發(fā)生形變從而給硅片和石墨舟帶來的損傷問題。