石墨舟上下料檢測(cè)裝置
基本信息
申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202121615916.X | 申請(qǐng)日 | - |
公開(kāi)(公告)號(hào) | CN215177580U | 公開(kāi)(公告)日 | 2021-12-14 |
申請(qǐng)公布號(hào) | CN215177580U | 申請(qǐng)公布日 | 2021-12-14 |
分類(lèi)號(hào) | G01B11/16(2006.01)I;H01L21/677(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I | 分類(lèi) | 測(cè)量;測(cè)試; |
發(fā)明人 | 顧生剛;時(shí)寶;盛健;林綱正;陳剛 | 申請(qǐng)(專(zhuān)利權(quán))人 | 珠海富山愛(ài)旭太陽(yáng)能科技有限公司 |
代理機(jī)構(gòu) | 深圳盛德大業(yè)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) | 代理人 | 張紅偉 |
地址 | 300400天津市北辰區(qū)天津北辰經(jīng)濟(jì)技術(shù)開(kāi)發(fā)區(qū)科技園高新大道73號(hào) | ||
法律狀態(tài) | - |
摘要
摘要 | 本實(shí)用新型適用于太陽(yáng)能電池領(lǐng)域,提供一種石墨舟上下料檢測(cè)裝置,該石墨舟上下料檢測(cè)裝置包括,裝卸平臺(tái),位于裝卸平臺(tái)的石墨舟、定位裝置、檢測(cè)裝置、上下料裝置、震動(dòng)裝置,以及與定位裝置、檢測(cè)裝置、上下料裝置及震動(dòng)裝置連接的控制裝置。通過(guò)該檢測(cè)裝置可實(shí)現(xiàn)對(duì)石墨舟位置的實(shí)時(shí)定位,實(shí)現(xiàn)對(duì)石墨舟狀態(tài)的實(shí)時(shí)監(jiān)控,控制裝置根據(jù)石墨舟的實(shí)時(shí)位置及形變信息調(diào)整上下料裝置的機(jī)械手,以實(shí)現(xiàn)準(zhǔn)確插片和卸片;并通過(guò)震動(dòng)裝置對(duì)硅片進(jìn)行自動(dòng)矯正,提高了上下料的效率,并減少人工檢測(cè)和監(jiān)控,降低了人工成本,避免了因硅片和石墨舟發(fā)生形變從而給硅片和石墨舟帶來(lái)的損傷問(wèn)題。 |
