單面PERC電池及其鈍化層的制作方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110923554.9 申請日 -
公開（公告）號 CN113782618A 公開（公告）日 2021-12-10
申請公布號 CN113782618A 申請公布日 2021-12-10
分類號 H01L31/0216（2014.01）I;H01L31/18（2006.01）I;C23C16/30（2006.01）I;C23C16/34（2006.01）I;C23C16/40（2006.01）I;C23C16/50（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 吳疆;楊蘇平;楊亮;林綱正;陳剛 申請（專利權）人 珠海富山愛旭太陽能科技有限公司
代理機構 深圳盛德大業(yè)知識產(chǎn)權代理事務所（普通合伙） 代理人 賈振勇
地址 528000廣東省佛山市三水區(qū)樂平鎮(zhèn)齊力大道南3號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請適用于太陽能電池技術領域，提供了一種單面PERC電池及其鈍化層的制作方法。單面PERC電池包括依次層疊的：電池基片、氧化鋁膜、氮化硅膜、氮氧化硅膜和氧化硅膜。如此，通過依次層疊于電池基片的氧化鋁膜、氮化硅膜、氮氧化硅膜和氧化硅膜，形成單面PERC電池背面的鈍化層，可以提高單面PERC電池的背面內反射，提高光電轉換效率，并改善PID。