一種減少繞鍍和色差的PERC太陽能電池制作方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010040515.X 申請日 -
公開（公告）號 CN111081823B 公開（公告）日 2021-12-17
申請公布號 CN111081823B 申請公布日 2021-12-17
分類號 H01L31/18（2006.01）I;H01L31/0216（2014.01）I;H01L31/068（2012.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 姜澤光;林綱正;陳剛 申請（專利權(quán)）人 珠海富山愛旭太陽能科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 浙江杭州金通專利事務(wù)所有限公司 代理人 金麗英
地址 528100 廣東省佛山市三水區(qū)樂平鎮(zhèn)齊力大道南3號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開一種減少繞鍍和色差的PERC太陽能電池制作方法，包括制絨、擴(kuò)散、正面激光、刻蝕、退火、背面沉積鈍化膜、正面沉積減反膜、背面激光、絲網(wǎng)印刷和燒結(jié)步驟，所述背面沉積鈍化膜步驟在硅片背面依次沉積背面氧化鋁膜、背面氧化硅膜、第一層背面氮化硅膜，在所述正面沉積減反膜步驟之后、所述背面激光步驟之前增加背面沉積第二層氮化硅膜步驟，所述背面沉積第二層氮化硅膜步驟在硅片背面沉積折射率低但膜厚較厚的第二層背面氮化硅膜。采用本方法制成的電池片，正面外觀顏色較深且偏黑，邊緣繞鍍較少，正面膜色均勻無色差出現(xiàn)，能滿足黑背板組件對電池片正面外觀膜色嚴(yán)苛的要求。