一種具有散熱功能的濺鍍載具
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202020798533.X | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN212357377U | 公開(kāi)（公告）日 | 2021-01-15 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN212357377U | 申請(qǐng)公布日 | 2021-01-15 |
| 分類(lèi)號(hào) | C23C14/50(2006.01)I | 分類(lèi) | 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕; |
| 發(fā)明人 | 劉淮健 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 江蘇栢煜包裝材料科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京化育知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 閆露露 |
| 地址 | 215000江蘇省蘇州市蘇州工業(yè)園區(qū)唯亭金陵?yáng)|路228號(hào)廠(chǎng)房1棟1層 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型公開(kāi)了一種具有散熱功能的濺鍍載具，屬于金屬高分子基材處理領(lǐng)域，一種具有散熱功能的濺鍍載具，包括濺鍍載具和冷卻劑供應(yīng)源，所述濺鍍載具的外側(cè)設(shè)有矩形框架，所述矩形框架正面和左側(cè)的內(nèi)部均開(kāi)設(shè)有分流管，所述矩形框架背面和右側(cè)的內(nèi)部均開(kāi)設(shè)有匯流管，所述矩形框架的中部連接有冷卻管路，冷卻劑在冷卻管路內(nèi)部流動(dòng)的同時(shí)會(huì)帶走濺鍍載具以及頂部基板的熱量，能很好的對(duì)基板進(jìn)行降溫，能很好的降低濺鍍時(shí)濺鍍載具的溫度，使濺鍍載具的溫度維持于基本受熱的安全值內(nèi)部，省去將濺鍍載具進(jìn)行靜置冷卻的程序，且不需要準(zhǔn)備多個(gè)供替換的濺鍍載具，能使濺鍍工藝更加簡(jiǎn)便，且省去了準(zhǔn)備大量替換濺鍍載具耗費(fèi)的成本。?? |
