一種全無(wú)機(jī)紫外LED晶圓級(jí)封裝方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201910162740.8 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)(公告)號(hào) CN109888081B 公開(kāi)(公告)日 2019-06-14
申請(qǐng)公布號(hào) CN109888081B 申請(qǐng)公布日 2019-06-14
分類號(hào) H01L33/48(2010.01)I;H01L33/56(2010.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 彭洋;柳星星;陳明祥 申請(qǐng)(專利權(quán))人 武漢高星紫外光電科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 430000湖北省武漢東湖新技術(shù)開(kāi)發(fā)區(qū)光谷大道特1號(hào)國(guó)際企業(yè)中心三期3棟3層07號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明屬于半導(dǎo)體制造技術(shù)相關(guān)領(lǐng)域,并公開(kāi)了一種全無(wú)機(jī)紫外LED晶圓級(jí)封裝方法,其包括:首先通過(guò)印刷或3D打印技術(shù)在玻璃蓋板上形成多個(gè)玻璃漿料環(huán),并經(jīng)過(guò)低溫?zé)Y(jié)獲得多個(gè)玻璃腔體結(jié)構(gòu),隨后將多顆紫外LED芯片貼裝于散熱基板上,接著通過(guò)無(wú)機(jī)漿料或金屬焊料將玻璃蓋板上的玻璃腔體與散熱基板實(shí)現(xiàn)可靠鍵合,最后切割獲得全無(wú)機(jī)紫外LED封裝產(chǎn)品。本發(fā)明還公開(kāi)了相應(yīng)的紫外LED封裝結(jié)構(gòu)。通過(guò)本發(fā)明,有效避免了有機(jī)封裝材料的紫外老化、失效等問(wèn)題,提高了紫外LED器件長(zhǎng)期可靠性,并改善了紫外LED封裝集成度,降低了封裝成本。??