一種等離子體驅(qū)動(dòng)裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN200420029732.5 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)(公告)號(hào) CN2735710Y 公開(kāi)(公告)日 2005-10-19
申請(qǐng)公布號(hào) CN2735710Y 申請(qǐng)公布日 2005-10-19
分類(lèi)號(hào) H05H1/18;H05H1/54 分類(lèi) 其他類(lèi)目不包含的電技術(shù);
發(fā)明人 秦友剛 申請(qǐng)(專(zhuān)利權(quán))人 石家莊鋼鐵股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 石家莊冀科專(zhuān)利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 代理人 石家莊鋼鐵股份有限公司;石家莊鋼鐵有限責(zé)任公司
地址 050031河北省石家莊市長(zhǎng)安區(qū)和平東路363號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種等離子體驅(qū)動(dòng)裝置,屬等離子體技術(shù)領(lǐng)域,用于解決利用等離子體作驅(qū)動(dòng)動(dòng)力的問(wèn)題,其技術(shù)方案是;它包括真空腔、微波源、初級(jí)真空泵、出口閥、等離子體輸送管,環(huán)繞等離子體輸送管設(shè)有定子鐵芯,定子鐵芯靠近等離子體輸送管一側(cè)繞有交流繞組線(xiàn)圈。采用這種結(jié)構(gòu)的等離子體驅(qū)動(dòng)裝置,可實(shí)現(xiàn)等離子體驅(qū)動(dòng)的全封閉、非接觸、高低速任意可調(diào),可用于超高真空泵、各種速度下的等離子體鍍膜、低壓等離子粒子束及實(shí)現(xiàn)其它等離子體的定向運(yùn)動(dòng)。由于該方法更容易控制等離子體處理的量度、純度和氣氛,特別適合于高精尖的材料科學(xué)研究和制造領(lǐng)域。