定位裝置及擴(kuò)散爐
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202210098808.2 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN114520177A | 公開(kāi)（公告）日 | 2022-05-20 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN114520177A | 申請(qǐng)公布日 | 2022-05-20 |
| 分類號(hào) | H01L21/68（2006.01）I;H01L21/677（2006.01）I;C30B31/00（2006.01）I | 分類 | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 宋修揚(yáng);孫軍旗;趙利;孫玉群 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 青島惠科微電子有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 深圳市百瑞專利商標(biāo)事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | - |
| 地址 | 266200山東省青島市即墨區(qū)北安街道辦事處太吉路1號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申請(qǐng)公開(kāi)了一種定位裝置及擴(kuò)散爐，調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)包括固定支架、角度調(diào)節(jié)裝置、角度傳感器、計(jì)算模塊、以及控制裝置；固定支架通過(guò)角度調(diào)節(jié)裝置與底座可轉(zhuǎn)動(dòng)連接，碳硅槳的一端與固定支架水平連接，控制裝置設(shè)置在底座上，且與角度調(diào)節(jié)裝置連接；角度傳感器、計(jì)算模塊均設(shè)置在固定支架上，角度傳感器與計(jì)算模塊連接，計(jì)算模塊與控制裝置連接；角度傳感器用于記錄所述石英舟空載時(shí)所述碳硅槳的角度，和石英舟裝載硅片后碳硅槳的角度；計(jì)算模塊用于計(jì)算石英舟空載時(shí)和裝載硅片后碳硅槳的角度差值，并將信號(hào)傳輸給控制裝置；控制裝置控制角度調(diào)節(jié)裝置，將固定支架抬升一預(yù)設(shè)角度，且預(yù)設(shè)角度等于角度差值。本申請(qǐng)能夠糾正碳硅槳上料前后的位置誤差。 |
