電鍍掛具和電鍍裝置
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202110289988.8 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN114381789A | 公開(kāi)（公告）日 | 2022-04-22 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN114381789A | 申請(qǐng)公布日 | 2022-04-22 |
| 分類(lèi)號(hào) | C25D17/08（2006.01）I;C25D7/12（2006.01）I | 分類(lèi) | 電解或電泳工藝；其所用設(shè)備〔4〕; |
| 發(fā)明人 | 王東升;孔躍春;王國(guó)峰 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 青島惠科微電子有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 深圳市百瑞專(zhuān)利商標(biāo)事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 邢濤 |
| 地址 | 266200山東省青島市即墨區(qū)北安街道辦事處太吉路1號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申請(qǐng)公開(kāi)了電鍍掛具和電鍍裝置，所述電鍍掛具包括下載板、正面固定結(jié)構(gòu)、背面固定結(jié)構(gòu)、第一導(dǎo)電結(jié)構(gòu)、第二導(dǎo)電結(jié)構(gòu)和陰極接口，所述下載板的正面設(shè)有用于放置晶圓的第一晶圓槽，所述下載板的背面上設(shè)有放置晶圓的第二晶圓槽，正面固定結(jié)構(gòu)、第一導(dǎo)電結(jié)構(gòu)與第一晶圓槽對(duì)應(yīng)，背面固定結(jié)構(gòu)、第二導(dǎo)電結(jié)構(gòu)與第二晶圓槽對(duì)應(yīng)。本申請(qǐng)通過(guò)在電鍍掛具的正反兩面同時(shí)設(shè)置容納兩種晶圓的晶圓槽，且對(duì)應(yīng)設(shè)置固定結(jié)構(gòu)和導(dǎo)電結(jié)構(gòu)，使得電鍍掛具能夠同時(shí)固定兩個(gè)晶圓，且使兩個(gè)晶圓進(jìn)行電鍍；而且固定在電鍍掛具正面和反面的晶圓型號(hào)可以不同，這樣電鍍掛具可同時(shí)使不同型號(hào)的晶圓進(jìn)行電鍍，提高了電鍍掛具的適用性。 |
