一種管狀鉻靶材的制備方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201910397062.3 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN109972100A 公開（公告）日 2019-07-05
申請(qǐng)公布號(hào) CN109972100A 申請(qǐng)公布日 2019-07-05
分類號(hào) C23C14/34;B22F3/15;B22F3/24 分類 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 劉慧淵 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 無錫飛而康新材料科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京三聚陽(yáng)光知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 李靜
地址 214145 江蘇省無錫市新吳區(qū)鴻山街道鴻山路99號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明屬于靶材制造技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種管狀鉻靶材的制備方法。所述方法包括過渡層的制備、包套的制備、包套脫氣、熱等靜壓、退火處理、機(jī)加工等步驟，通過本發(fā)明的方法制備得到的管狀鉻靶材沒有裂紋產(chǎn)生、不會(huì)發(fā)生彎曲變形、致密度＞99％，純度高，極大的提高了產(chǎn)品的合格率。