一種用于薄晶圓加工的臨時(shí)鍵合膠及其制備方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201410855541.2 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN104559852B 公開（公告）日 2018-02-27
申請(qǐng)公布號(hào) CN104559852B 申請(qǐng)公布日 2018-02-27
分類號(hào) C09J133/04;C09J133/12;C09J125/02;C09J125/16;C09J167/00;H01L21/683 分類 染料；涂料；拋光劑；天然樹脂；黏合劑；其他類目不包含的組合物；其他類目不包含的材料的應(yīng)用;
發(fā)明人 孫蓉;鄧立波;帥行天;張國平 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 深圳市化訊應(yīng)用材料有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京品源專利代理有限公司 代理人 深圳市化訊半導(dǎo)體材料有限公司
地址 518101 廣東省深圳市寶安區(qū)新安街道68區(qū)留仙大道2號(hào)匯聚創(chuàng)新園A棟511、512室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種用于薄晶圓加工的臨時(shí)鍵合膠及其制備方法。該臨時(shí)鍵合膠以臨時(shí)鍵合膠的總質(zhì)量為100份數(shù)計(jì)，包含55～70份的溶劑以及溶解或分散于溶劑中30～45份基礎(chǔ)樹脂，所述基礎(chǔ)樹脂為熱分解溫度為320℃以上、熔融指數(shù)為24以上的高聚物或者共混高聚物，由此臨時(shí)鍵合膠具有熱穩(wěn)定性高、抗腐蝕性強(qiáng)的優(yōu)點(diǎn)，同時(shí)其鍵合/解鍵合效率高，殘余粘接層易清洗，制備成本較為經(jīng)濟(jì)。