絕緣層用組合物及在硅晶圓的硅通孔上制備絕緣層的方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201410017166.4 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN103788736B 公開(kāi)（公告）日 2016-04-20
申請(qǐng)公布號(hào) CN103788736B 申請(qǐng)公布日 2016-04-20
分類(lèi)號(hào) C09D4/02(2006.01)I;C09D4/06(2006.01)I;C09D161/06(2006.01)I;C09D5/25(2006.01)I;C09D7/12(2006.01)I;H01L21/31(2006.01)I;H01L21/768(2006.01)I 分類(lèi) 染料；涂料；拋光劑；天然樹(shù)脂；黏合劑；其他類(lèi)目不包含的組合物；其他類(lèi)目不包含的材料的應(yīng)用;
發(fā)明人 孫蓉;張國(guó)平;姜坤;趙松方 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 深圳市化訊應(yīng)用材料有限公司
代理機(jī)構(gòu) 廣州華進(jìn)聯(lián)合專利商標(biāo)代理有限公司 代理人 深圳先進(jìn)技術(shù)研究院;深圳市化訊半導(dǎo)體材料有限公司
地址 518055 廣東省深圳市南山區(qū)西麗大學(xué)城學(xué)苑大道1068號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種絕緣層用組合物及在硅晶圓的硅通孔上制備絕緣層的方法。該絕緣層用組合物按質(zhì)量份計(jì)，包括稀釋劑00份、酚醛樹(shù)脂2份～10份、增粘劑0.3份～1.0份、交聯(lián)劑5份～15份及白炭黑1份～5份。稀釋劑、酚醛樹(shù)脂、增粘劑、交聯(lián)劑和白炭黑按合適的配比得到的上述絕緣層用組合物具有合適的黏度，因而具有較好的成膜性，有利于絕緣層用組合物的立體成型，在硅通孔中制備保形性好的絕緣層。并且，經(jīng)實(shí)驗(yàn)證明，采用上述絕緣層用組合物在硅通孔中制備的絕緣層的介電常數(shù)較低，且吸濕率較低。