一種用于薄晶圓加工的臨時(shí)鍵合膠及其制備方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201410855541.2 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN104559852A 公開(kāi)（公告）日 2015-04-29
申請(qǐng)公布號(hào) CN104559852A 申請(qǐng)公布日 2015-04-29
分類號(hào) C09J133/04(2006.01)I;C09J133/12(2006.01)I;C09J125/02(2006.01)I;C09J125/16(2006.01)I;C09J167/00(2006.01)I;H01L21/683(2006.01)I 分類 染料；涂料；拋光劑；天然樹(shù)脂；黏合劑；其他類目不包含的組合物；其他類目不包含的材料的應(yīng)用;
發(fā)明人 孫蓉;鄧立波;帥行天;張國(guó)平 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 深圳市化訊應(yīng)用材料有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京品源專利代理有限公司 代理人 深圳先進(jìn)技術(shù)研究院;深圳市化訊半導(dǎo)體材料有限公司
地址 518055 廣東省深圳市南山區(qū)西麗大學(xué)城學(xué)苑大道1068號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)了一種用于薄晶圓加工的臨時(shí)鍵合膠及其制備方法。該臨時(shí)鍵合膠以臨時(shí)鍵合膠的總質(zhì)量為100份數(shù)計(jì)，包含55～70份的溶劑以及溶解或分散于溶劑中30～45份基礎(chǔ)樹(shù)脂，所述基礎(chǔ)樹(shù)脂為熱分解溫度為320℃以上、熔融指數(shù)為24以上的高聚物或者共混高聚物，由此臨時(shí)鍵合膠具有熱穩(wěn)定性高、抗腐蝕性強(qiáng)的優(yōu)點(diǎn)，同時(shí)其鍵合/解鍵合效率高，殘余粘接層易清洗，制備成本較為經(jīng)濟(jì)。