一種耐強(qiáng)酸的光掩膜及其制作方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201310654685.7 申請日 -
公開（公告）號 CN103616795B 公開（公告）日 2017-03-29
申請公布號 CN103616795B 申請公布日 2017-03-29
分類號 G03F1/68(2012.01)I 分類 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕;
發(fā)明人 徐根;陳社誠;周志剛 申請（專利權(quán)）人 湖南電子信息產(chǎn)業(yè)集團(tuán)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 長沙智嶸專利代理事務(wù)所 代理人 湖南普照信息材料有限公司;湖南電子信息產(chǎn)業(yè)集團(tuán)有限公司
地址 410205 湖南省長沙市岳麓區(qū)麓楓路40號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種耐強(qiáng)酸的光掩膜及其制作方法。該耐強(qiáng)酸的光掩膜包括：玻璃基板和設(shè)置在玻璃基板上的鉻膜層，其中鉻膜層包括朝向遠(yuǎn)離玻璃基板方向依次設(shè)置的鉻碳氮化物遮光膜層和鉻氮氧化物減反射膜層。該制作方法包括獲取玻璃基板，在玻璃基板上形成鉻膜層，其中形成鉻膜層的步驟包括：在玻璃基板上形成鉻碳氮化物遮光膜層；在鉻碳氮化物遮光膜層上形成鉻氮氧化物減反射膜層。本發(fā)明的具有雙層結(jié)構(gòu)鉻膜層的光掩膜具有良好的耐強(qiáng)酸腐蝕性，因此可以采用強(qiáng)酸對本發(fā)明提供的光掩膜進(jìn)行清洗，以使其保持潔凈的狀態(tài)，進(jìn)而保證存儲信息的可靠性。