一種基于透過率光譜的快速無損獲得透明薄膜厚度的方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010352156.1 申請日 -
公開（公告）號 CN112129235A 公開（公告）日 2020-12-25
申請公布號 CN112129235A 申請公布日 2020-12-25
分類號 G01B11/06(2006.01)I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 王肖珩;肖志河;周翔;喬元哲;陳大鵬 申請（專利權(quán)）人 中國長峰機電技術(shù)研究設(shè)計院
代理機構(gòu) 北京格允知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 北京環(huán)境特性研究所;中國長峰機電技術(shù)研究設(shè)計院;北京遙感設(shè)備研究所
地址 100854北京市海淀區(qū)永定路50號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種基于透過率光譜的快速無損獲得透明薄膜厚度的方法。所述方法包括如下步驟：獲得透明薄膜的透過率光譜；分別連接相鄰兩波峰、相鄰兩波谷，做出光譜曲線的包絡(luò)線；標記相鄰兩個波峰所在位置，將兩個波峰的波長分別記為λ1、λ2，然后分別標記兩個波峰與包絡(luò)線相交處的透射率的最大值、最小值，分別記為TM1，Tm1和TM2，Tm2；分別計算λ1、λ2處的折射率n1和n2；根據(jù)兩相鄰波峰的折射率，按照如下公式計算透明薄膜厚度d。該方法利用透過率光譜來計算透明薄膜厚度，快速、便捷、無損傷，不影響薄膜的二次加工及后續(xù)工藝，可隨時檢測薄膜的成膜質(zhì)量。??