一種基于透過(guò)率光譜的快速無(wú)損獲得透明薄膜厚度的方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202010352156.1 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN112129235A | 公開（公告）日 | 2020-12-25 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN112129235A | 申請(qǐng)公布日 | 2020-12-25 |
| 分類號(hào) | G01B11/06(2006.01)I | 分類 | 測(cè)量；測(cè)試; |
| 發(fā)明人 | 王肖珩;肖志河;周翔;喬元哲;陳大鵬 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 中國(guó)長(zhǎng)峰機(jī)電技術(shù)研究設(shè)計(jì)院 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京格允知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 北京環(huán)境特性研究所;中國(guó)長(zhǎng)峰機(jī)電技術(shù)研究設(shè)計(jì)院;北京遙感設(shè)備研究所 |
| 地址 | 100854北京市海淀區(qū)永定路50號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明涉及一種基于透過(guò)率光譜的快速無(wú)損獲得透明薄膜厚度的方法。所述方法包括如下步驟：獲得透明薄膜的透過(guò)率光譜；分別連接相鄰兩波峰、相鄰兩波谷，做出光譜曲線的包絡(luò)線；標(biāo)記相鄰兩個(gè)波峰所在位置，將兩個(gè)波峰的波長(zhǎng)分別記為λ1、λ2，然后分別標(biāo)記兩個(gè)波峰與包絡(luò)線相交處的透射率的最大值、最小值，分別記為TM1，Tm1和TM2，Tm2；分別計(jì)算λ1、λ2處的折射率n1和n2；根據(jù)兩相鄰波峰的折射率，按照如下公式計(jì)算透明薄膜厚度d。該方法利用透過(guò)率光譜來(lái)計(jì)算透明薄膜厚度，快速、便捷、無(wú)損傷，不影響薄膜的二次加工及后續(xù)工藝，可隨時(shí)檢測(cè)薄膜的成膜質(zhì)量。?? |
