一種基于前驅(qū)溶液控制ZnO膜成膜厚度的方法及其應(yīng)用
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN202010351032.1 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號 | CN112133638A | 公開（公告）日 | 2020-12-25 |
| 申請公布號 | CN112133638A | 申請公布日 | 2020-12-25 |
| 分類號 | H01L21/365(2006.01)I | 分類 | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 王肖珩;肖志河;周翔;喬元哲;周健 | 申請（專利權(quán)）人 | 中國長峰機電技術(shù)研究設(shè)計院 |
| 代理機構(gòu) | 北京格允知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 北京環(huán)境特性研究所;中國長峰機電技術(shù)研究設(shè)計院;北京遙感設(shè)備研究所 |
| 地址 | 100854北京市海淀區(qū)永定路50號 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明涉及一種基于前驅(qū)體溶液控制ZnO膜成膜厚度的方法及其應(yīng)用。該方法通過將前驅(qū)體溶液通過化學(xué)氣相沉積法得到ZnO膜，所述前驅(qū)體溶液為添加有乙酸的乙酸鋅水溶液，通過控制乙酸在前驅(qū)體溶液中的濃度來控制ZnO膜的成膜厚度；其中，乙酸在前驅(qū)體溶液中的濃度為0.06?0.09。本發(fā)明通過調(diào)節(jié)前驅(qū)體溶液中的乙酸濃度來控制熱解反應(yīng)及ZnO高溫結(jié)晶生長速度，進(jìn)而非常有效地改變ZnO薄膜厚度；本發(fā)明將乙酸在前驅(qū)體溶液中的濃度控制在0.06?0.09，找到了最適合ZnO薄膜均勻穩(wěn)定生長的乙酸濃度，并能夠達(dá)到利用乙酸濃度調(diào)控薄膜厚度在百納米級的變化，成膜厚度從200nm～400nm可調(diào)。?? |
