一種用于研磨拋光液的混合裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202121453009.X 申請日 -
公開（公告）號 CN214810211U 公開（公告）日 2021-11-23
申請公布號 CN214810211U 申請公布日 2021-11-23
分類號 B01F7/18（2006.01）I;B01F13/10（2006.01）I;B01F15/02（2006.01）I;B01F15/00（2006.01）I 分類 一般的物理或化學(xué)的方法或裝置;
發(fā)明人 尹宏銳;夏杰;王鳳江;陶衛(wèi)健;王大鵬 申請（專利權(quán)）人 南京青銳風(fēng)新材料科技有限公司
代理機構(gòu) 南京鼎傲知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 劉煥敏
地址 211106江蘇省南京市江寧經(jīng)濟技術(shù)開發(fā)區(qū)勝太路68號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種用于研磨拋光液的混合裝置，包括混合桶，混合桶的內(nèi)側(cè)頂部位置處固定安裝有支撐架，支撐架的內(nèi)側(cè)轉(zhuǎn)動連接有轉(zhuǎn)動軸，轉(zhuǎn)動軸的外側(cè)固定連接有儲料盒，儲料盒的頂端開設(shè)有注料孔，注料孔的內(nèi)側(cè)螺紋連接有密封蓋，儲料盒的一側(cè)端面開設(shè)有出料孔，轉(zhuǎn)動軸的頂端固定連接有旋轉(zhuǎn)板，轉(zhuǎn)動軸的外側(cè)與儲料盒對稱位置處固定連接有混合板，通過轉(zhuǎn)動旋轉(zhuǎn)板從而帶動轉(zhuǎn)動軸在混合桶的內(nèi)部旋轉(zhuǎn)，從而使稀土鈰通過出料孔加注到原液中，然后再通過混合板將聚集的稀土鈰打散，從而增加成核質(zhì)點起到阻隔作用,減少納米金剛石微晶的硬團聚，防止硬團聚納米金剛石微晶對硅片表面造成較深的劃傷，從而提升硅片加工的良品率。