一種盛放于石英舟中硅片用的降溫器
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201521110104.4 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN205258663U | 公開（公告）日 | 2016-05-25 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN205258663U | 申請(qǐng)公布日 | 2016-05-25 |
| 分類號(hào) | C30B33/02(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I | 分類 | 晶體生長(zhǎng)〔3〕; |
| 發(fā)明人 | 李世杰;吳成志;陳世杰;劉曉燕 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 寧晉賽美港龍電子材料有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 石家莊元匯專利代理事務(wù)所（特殊普通合伙） | 代理人 | 劉聞鐸 |
| 地址 | 055550 河北省邢臺(tái)市寧晉縣晶龍大街289號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型涉及一種盛放于石英舟中硅片用的降溫器，屬于降溫設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，該降溫器包括框架式的支撐架，支撐架下部設(shè)置有置物架，置物架包括平行排布的一組橫桿，相鄰兩橫桿的間距小于石英舟的長(zhǎng)度，支撐架上部設(shè)置有門型支架，支架下端面設(shè)置有風(fēng)扇組，風(fēng)扇組與置物架位置上下相對(duì)，風(fēng)扇組包括四個(gè)位于同一直線上的風(fēng)扇，四個(gè)風(fēng)扇中，相鄰的兩個(gè)風(fēng)扇轉(zhuǎn)向相反，且風(fēng)向均為向下，橫桿上設(shè)置有一組等距離的定位槽，定位槽的內(nèi)輪廓與石英舟的底部外輪廓相吻合，將載有硅片的石英舟放置于兩個(gè)相鄰橫桿上的定位槽中，使用四個(gè)風(fēng)扇進(jìn)行風(fēng)冷降溫，該降溫器能夠?qū)Υ罅抗杵鶆蚪禍?，且降溫效率明顯提高，硅片的利用率也能得到提升。 |
