一種高均勻性LED平行光曝光機光源系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201720073645.7 申請日 -
公開（公告）號 CN206848690U 公開（公告）日 2018-01-05
申請公布號 CN206848690U 申請公布日 2018-01-05
分類號 G03F7/20(2006.01)I 分類 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕;
發(fā)明人 周玉剛;蔡云峰 申請（專利權(quán)）人 南京新趨勢光電有限公司
代理機構(gòu) 南京利豐知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（特殊普通合伙） 代理人 南京新趨勢光電有限公司
地址 210046 江蘇省南京市南京是棲霞區(qū)恒園路龍港科技園B2棟401
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種高均勻性LED平行光紫外曝光機光源系統(tǒng)，包由陣列排布的紫外LED燈珠和對應(yīng)的準直透鏡紫外LED組成的平行光源模組、支撐光源模組或樣品移動的機械與控制系統(tǒng)，該機械與控制系統(tǒng)使曝光時光源模組與樣品在x?y二維平面內(nèi)相對運動，其運動軌跡均勻分布且最外圍覆蓋光源模組的最小重復(fù)單元。本實用新型采用移動旋轉(zhuǎn)系統(tǒng)及其平行光源模組極大地提高了曝光均勻度，同時因降低了光源發(fā)散角而使得曝光強度提高，提高了曝光質(zhì)量，解決了因分辨率不一致而導致的斷線等現(xiàn)象；本實用新型還有利于多種波長的平行光實現(xiàn)均勻曝光，從而適應(yīng)不同的油墨、光阻。