一種高均勻性LED平行光紫外曝光機(jī)光源系統(tǒng)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201710043423.5 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN106773549A 公開（公告）日 2017-05-31
申請(qǐng)公布號(hào) CN106773549A 申請(qǐng)公布日 2017-05-31
分類號(hào) G03F7/20(2006.01)I 分類 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕;
發(fā)明人 周玉剛;蔡云峰 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 南京新趨勢(shì)光電有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 210046 江蘇省南京市棲霞區(qū)恒園路龍港科技園B2棟4-1
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種高均勻性LED平行光紫外曝光機(jī)光源系統(tǒng)，包由陣列排布的紫外LED燈珠和對(duì)應(yīng)的準(zhǔn)直透鏡紫外LED組成的平行光源模組、支撐光源模組或樣品移動(dòng)的機(jī)械與控制系統(tǒng)，該機(jī)械與控制系統(tǒng)使曝光時(shí)光源模組與樣品在x?y二維平面內(nèi)相對(duì)運(yùn)動(dòng)，其運(yùn)動(dòng)軌跡均勻分布且最外圍覆蓋光源模組的最小重復(fù)單元。本發(fā)明采用移動(dòng)旋轉(zhuǎn)系統(tǒng)及其平行光源模組極大地提高了曝光均勻度，同時(shí)因降低了光源發(fā)散角而使得曝光強(qiáng)度提高，提高了曝光質(zhì)量，解決了因分辨率不一致而導(dǎo)致的斷線等現(xiàn)象；本發(fā)明還有利于多種波長(zhǎng)的平行光實(shí)現(xiàn)均勻曝光，從而適應(yīng)不同的油墨、光阻。