一種測厚方法、裝置及系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110485246.2 申請日 -
公開（公告）號 CN113218315A 公開（公告）日 2021-08-06
申請公布號 CN113218315A 申請公布日 2021-08-06
分類號 G01B11/06（2006.01）I;G01B11/24（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 張云龍;金少峰;郭俊敏 申請（專利權(quán)）人 深圳市深視智能科技有限公司
代理機構(gòu) 深圳市六加知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 許銓芬
地址 518000廣東省深圳市南山區(qū)桃源街道福光社區(qū)留仙大道3370號南山智園崇文園區(qū)2號樓501-504
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明實施例涉及測量方法技術(shù)領(lǐng)域，公開了一種測厚方法、裝置及系統(tǒng)，該方法首先獲取待測物體的當(dāng)前檢測厚度，接著獲取標(biāo)定物體的厚度變化量，以得到所述待測物體的溫度漂移變化量，最后根據(jù)所述溫度漂移變化量，對所述當(dāng)前檢測厚度進(jìn)行補償，以得到所述待測物體的實際厚度，本發(fā)明實施例提供的測厚方法能夠解決由環(huán)境溫度的變化導(dǎo)致的測厚數(shù)據(jù)不準(zhǔn)確的問題，提高生產(chǎn)效率。