一種測(cè)厚方法、裝置及系統(tǒng)
基本信息
申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202110485246.2 | 申請(qǐng)日 | - |
公開(kāi)(公告)號(hào) | CN113218315A | 公開(kāi)(公告)日 | 2021-08-06 |
申請(qǐng)公布號(hào) | CN113218315A | 申請(qǐng)公布日 | 2021-08-06 |
分類(lèi)號(hào) | G01B11/06(2006.01)I;G01B11/24(2006.01)I | 分類(lèi) | 測(cè)量;測(cè)試; |
發(fā)明人 | 張?jiān)讫?金少峰;郭俊敏 | 申請(qǐng)(專(zhuān)利權(quán))人 | 深圳市深視智能科技有限公司 |
代理機(jī)構(gòu) | 深圳市六加知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 許銓芬 |
地址 | 518000廣東省深圳市南山區(qū)桃源街道福光社區(qū)留仙大道3370號(hào)南山智園崇文園區(qū)2號(hào)樓501-504 | ||
法律狀態(tài) | - |
摘要
摘要 | 本發(fā)明實(shí)施例涉及測(cè)量方法技術(shù)領(lǐng)域,公開(kāi)了一種測(cè)厚方法、裝置及系統(tǒng),該方法首先獲取待測(cè)物體的當(dāng)前檢測(cè)厚度,接著獲取標(biāo)定物體的厚度變化量,以得到所述待測(cè)物體的溫度漂移變化量,最后根據(jù)所述溫度漂移變化量,對(duì)所述當(dāng)前檢測(cè)厚度進(jìn)行補(bǔ)償,以得到所述待測(cè)物體的實(shí)際厚度,本發(fā)明實(shí)施例提供的測(cè)厚方法能夠解決由環(huán)境溫度的變化導(dǎo)致的測(cè)厚數(shù)據(jù)不準(zhǔn)確的問(wèn)題,提高生產(chǎn)效率。 |
