一種測(cè)厚方法、裝置及系統(tǒng)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110485246.2 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)(公告)號(hào) CN113218315A 公開(kāi)(公告)日 2021-08-06
申請(qǐng)公布號(hào) CN113218315A 申請(qǐng)公布日 2021-08-06
分類(lèi)號(hào) G01B11/06(2006.01)I;G01B11/24(2006.01)I 分類(lèi) 測(cè)量;測(cè)試;
發(fā)明人 張?jiān)讫?金少峰;郭俊敏 申請(qǐng)(專(zhuān)利權(quán))人 深圳市深視智能科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 深圳市六加知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 許銓芬
地址 518000廣東省深圳市南山區(qū)桃源街道福光社區(qū)留仙大道3370號(hào)南山智園崇文園區(qū)2號(hào)樓501-504
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明實(shí)施例涉及測(cè)量方法技術(shù)領(lǐng)域,公開(kāi)了一種測(cè)厚方法、裝置及系統(tǒng),該方法首先獲取待測(cè)物體的當(dāng)前檢測(cè)厚度,接著獲取標(biāo)定物體的厚度變化量,以得到所述待測(cè)物體的溫度漂移變化量,最后根據(jù)所述溫度漂移變化量,對(duì)所述當(dāng)前檢測(cè)厚度進(jìn)行補(bǔ)償,以得到所述待測(cè)物體的實(shí)際厚度,本發(fā)明實(shí)施例提供的測(cè)厚方法能夠解決由環(huán)境溫度的變化導(dǎo)致的測(cè)厚數(shù)據(jù)不準(zhǔn)確的問(wèn)題,提高生產(chǎn)效率。