微通道板電性能動態(tài)測試臺

基本信息

申請?zhí)?/td> CN200920190685.5 申請日 -
公開（公告）號 CN201477165U 公開（公告）日 2010-05-19
申請公布號 CN201477165U 申請公布日 2010-05-19
分類號 G01R31/00(2006.01)I;G01R31/28(2006.01)I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 陳楠 申請（專利權(quán)）人 杭州千盟光電科技有限公司
代理機構(gòu) 杭州天欣專利事務(wù)所 代理人 杭州千盟光電科技有限公司
地址 311400 浙江省富陽市富春街道秋豐村孫家壟80號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型包括工作臺，其特征在于：在所述的安裝臺上安裝有觀察系統(tǒng)、真空工作室、電子發(fā)射系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、人機界面系統(tǒng)、電性能參數(shù)獲取系統(tǒng)、真空控制系統(tǒng)、工轉(zhuǎn)系統(tǒng)和電源系統(tǒng)；所述的電源系統(tǒng)分別與真空系統(tǒng)、真空控制系統(tǒng)、電子發(fā)射系統(tǒng)、電性能參數(shù)獲取系統(tǒng)和人機界面連接；所述的真空室與真空系統(tǒng)連接，其下部安裝有工轉(zhuǎn)系統(tǒng)；所述的電子發(fā)射系統(tǒng)與真空工作室相通；所述的觀察系統(tǒng)位于真空工作室的上方。本實用新型結(jié)構(gòu)設(shè)計合理，功能實用，觀測準(zhǔn)確。