一種高精度薄膜端導(dǎo)濺射治具

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202022669922.5 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN213803966U 公開（公告）日 2021-07-27
申請(qǐng)公布號(hào) CN213803966U 申請(qǐng)公布日 2021-07-27
分類號(hào) C23C14/34（2006.01） 分類 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 薛靜蓉;楊路華;王永生;岳晴瑞;李萌;郭菊芳;鄒鳳譽(yù);高思靜;李歲萌;王麗莎;劉利;王衛(wèi)東 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 陜西華經(jīng)微電子股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 西安文盛專利代理有限公司 代理人 佘文英
地址 710065 陜西省西安市電子西街3號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種高精度薄膜端導(dǎo)濺射治具，包括上蓋板鋼模板和下蓋板鋼模板，上蓋板鋼模板和下蓋板鋼模板的開口尺寸與濺射圖形尺寸保持一致；將上蓋板鋼模板、下蓋板鋼模板與上蓋板主體、下蓋板主體點(diǎn)焊在一起形成濺射治具上蓋板和下蓋板；上蓋板和下蓋板緊挨濺射產(chǎn)品處左右兩側(cè)分別設(shè)計(jì)兩道凹槽，使上蓋板和下蓋板與濺射產(chǎn)品側(cè)面緊密接觸，提高濺射圖形尺寸精度。本實(shí)用新型通過對(duì)公差的精密設(shè)計(jì)要求，達(dá)到了能夠雙面濺射的效果，提高了濺射效率。