離線式玻璃基板傳送裝置和玻璃基板缺陷檢測(cè)裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201710447946.6 申請(qǐng)日 -
公開(公告)號(hào) CN107064175B 公開(公告)日 2019-11-01
申請(qǐng)公布號(hào) CN107064175B 申請(qǐng)公布日 2019-11-01
分類號(hào) G01N21/958(2006.01)I; B65G49/06(2006.01)I 分類 測(cè)量;測(cè)試;
發(fā)明人 劉福濤; 鄭權(quán); 胡恒廣; 王麗紅; 嚴(yán)永海 申請(qǐng)(專利權(quán))人 福州東旭光電科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京英創(chuàng)嘉友知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 代理人 陳慶超;桑傳標(biāo)
地址 350000 福建省福州市保稅港區(qū)加工貿(mào)易區(qū)監(jiān)管大樓109室072區(qū)間(福清市新厝鎮(zhèn)新江路9號(hào))(自貿(mào)試驗(yàn)區(qū)內(nèi))
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本公開涉及一種離線式玻璃基板傳送裝置和玻璃基板缺陷檢測(cè)裝置,該傳送裝置包括機(jī)架組件、安裝到機(jī)架組件上的頂升組件、氣浮組件、定位組件和驅(qū)動(dòng)組件,氣浮組件用于氣浮玻璃基板,頂升組件可沿豎直方向升降以具有伸出位置和收納位置,在伸出位置,頂升組件在豎直方向凸出于氣浮組件以承接或承送玻璃基板,在收納位置,頂升組件在豎直方向不凸出于氣浮組件以由氣浮組件浮起玻璃基板,定位組件在傳送玻璃基板前將玻璃基板定位在氣浮組件上,驅(qū)動(dòng)組件夾緊并驅(qū)動(dòng)定位后的玻璃基板沿氣浮組件的長(zhǎng)度方向往復(fù)移動(dòng)。因此,有效避免滾輪傳送對(duì)玻璃基板邊部質(zhì)量的影響,減少缺陷的產(chǎn)生,實(shí)現(xiàn)高精度傳送,結(jié)合檢測(cè)單元能實(shí)現(xiàn)玻璃基板高精度定位和檢測(cè)。