一種玻璃基板內(nèi)缺陷檢測方法及裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201710453855.3 申請日 -
公開（公告）號 CN106996937B 公開（公告）日 2019-09-06
申請公布號 CN106996937B 申請公布日 2019-09-06
分類號 G01N21/958（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 周波; 李青; 王麗紅; 胡恒廣 申請（專利權(quán)）人 福州東旭光電科技有限公司
代理機構(gòu) 北京英創(chuàng)嘉友知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 耿超;王浩然
地址 350000 福建省福州市保稅港區(qū)加工貿(mào)易區(qū)監(jiān)管大樓109室072區(qū)間(福清市新厝鎮(zhèn)新江路9號)(自貿(mào)試驗區(qū)內(nèi))
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種玻璃基板內(nèi)缺陷檢測方法及裝置，玻璃基板內(nèi)缺陷檢測方法包括：將光源(1)和第一攝像裝置(2)分別設(shè)置在待檢測玻璃基板(3)板面的相對兩側(cè)；在與待檢測玻璃基板(3)發(fā)生相對移動過程中，所述光源(1)發(fā)射的光線穿過待檢測玻璃基板(3)后射入所述第一攝像裝置(2)；根據(jù)所述第一攝像裝置(2)內(nèi)的視場識別待檢測玻璃基板(3)內(nèi)是否存在缺陷。通過本發(fā)明的玻璃基板內(nèi)缺陷檢測方法及裝置能夠判斷玻璃基板內(nèi)是否存在缺陷，并且能夠準(zhǔn)確地識別距離缺陷位置較近的待檢測玻璃基板(3)的板面。