光阻玻璃涂布裝置
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202121758454.7 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN215599503U | 公開(kāi)（公告）日 | 2022-01-21 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN215599503U | 申請(qǐng)公布日 | 2022-01-21 |
| 分類(lèi)號(hào) | G03F7/16（2006.01）I | 分類(lèi) | 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類(lèi)似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕; |
| 發(fā)明人 | 汪良恩;李建利;汪曦凌 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 安徽芯旭半導(dǎo)體有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京久誠(chéng)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（特殊普通合伙） | 代理人 | 齊葵 |
| 地址 | 247100安徽省池州市貴池區(qū)經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)鳳凰大道98號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型提供了一種光阻玻璃涂布裝置，涉及半導(dǎo)體加工技術(shù)領(lǐng)域。一種光阻玻璃涂布裝置，所述涂布裝置包括：涂布鍋和注射裝置；所述注射裝置通過(guò)升降裝置安裝在涂布鍋上方；所述注射裝置包括：注射器和蓋板；所述蓋板安裝在注射器的底部外壁，所述蓋板與涂布鍋的頂部開(kāi)口匹配。本實(shí)用新型中，所述涂布裝置工作過(guò)程中，升降裝置驅(qū)動(dòng)注射裝置下降，蓋板蓋在涂布鍋上，注射器向涂布鍋內(nèi)的晶圓涂布光阻玻璃，不會(huì)產(chǎn)生氣泡，并且通過(guò)注射器的刻度能夠監(jiān)控光阻玻璃的涂布量，涂布質(zhì)量好效率高。 |
