一種藍(lán)膜良品芯片計(jì)數(shù)器
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202021306142.8 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN212624130U | 公開（公告）日 | 2021-02-26 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN212624130U | 申請(qǐng)公布日 | 2021-02-26 |
| 分類號(hào) | G06M1/10(2006.01)I | 分類 | 計(jì)算；推算；計(jì)數(shù); |
| 發(fā)明人 | 汪良恩;汪曦凌;李建利 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 安徽芯旭半導(dǎo)體有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 上海華誠知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 章勝強(qiáng) |
| 地址 | 247100安徽省池州市經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)鳳凰大道98號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型屬于半導(dǎo)體晶圓制造領(lǐng)域，具體涉及一種藍(lán)膜良品芯片計(jì)數(shù)器，包括檢測(cè)箱、顯示器，所述檢測(cè)箱包括晶圓放置臺(tái)、掃描儀、控制主板，所述檢測(cè)箱的底部設(shè)有開口，所述開口內(nèi)設(shè)有晶圓放置臺(tái)，所述檢測(cè)箱內(nèi)部一側(cè)設(shè)有掃描儀，所述掃描儀包括紅外線發(fā)射器、掃描器、圖像處理器，所述掃描器與圖像處理器相連接，所述掃描儀的上方設(shè)有控制主板，所述控制主板包括控制器、儲(chǔ)存器，所述控制器與所述儲(chǔ)存器、紅外線發(fā)射器、掃描器、圖像處理器、顯示器分別連接，本實(shí)用新型無需人工檢測(cè)，可以自動(dòng)識(shí)別每種芯片中的劣品芯片和良品芯片，從而計(jì)算得出每種芯片在晶圓上的總良品數(shù)量。?? |
