一種芯片清洗裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110552242.1 申請日 -
公開（公告）號 CN113394136A 公開（公告）日 2021-09-14
申請公布號 CN113394136A 申請公布日 2021-09-14
分類號 H01L21/67（2006.01）I;H01L21/02（2006.01）I;B08B3/02（2006.01）I;B08B3/08（2006.01）I;B08B5/02（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 汪良恩;李建利;汪曦凌 申請（專利權）人 安徽芯旭半導體有限公司
代理機構 合肥洪雷知識產(chǎn)權代理事務所（普通合伙） 代理人 孫小華
地址 247000安徽省池州市經(jīng)濟技術開發(fā)區(qū)鳳凰路98號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種芯片清洗裝置，涉及半導體技術領域。在本發(fā)明中：柱形特氟龍杯體的底側配置有底側漏斗，柱形特氟龍杯體的上側配置有一蓋體，蓋體的上端開設有溢流敞口結構。底側漏斗上側設有一層低位特氟龍紗網(wǎng)，蓋體的下部設有一層高位特氟龍紗網(wǎng)，柱形特氟龍杯體內(nèi)形成位于低位特氟龍紗網(wǎng)與高位特氟龍紗網(wǎng)之間的晶粒放置區(qū)域。底側漏斗連接有帶有增壓泵的供水管，增壓泵的一側設置有進水口；底側漏斗上設置有若干進氣支管，若干進氣支管在柱形特氟龍杯體外部匯流為一主供氣管，主供氣管的一端連接有供氣裝置。本發(fā)明通過搭建簡易便捷的流體混合驅(qū)動結構，可以有效的使堆積芯片在進行翻轉清洗，使雜質(zhì)顆粒和酸堿殘液有效的沖洗帶走。