一種簡易晶圓脫水機

基本信息

申請?zhí)?/td> 2020213061930 申請日 -
公開（公告）號 CN212434586U 公開（公告）日 2021-01-29
申請公布號 CN212434586U 申請公布日 2021-01-29
分類號 H01L21/67(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 汪良恩;汪曦凌;李建利 申請（專利權）人 安徽芯旭半導體有限公司
代理機構 上海華誠知識產(chǎn)權代理有限公司 代理人 章勝強
地址 247100安徽省池州市經(jīng)濟技術開發(fā)區(qū)鳳凰大道98號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種簡易晶圓脫水機，包括帶有脫水筒的脫水機，所述脫水筒內對稱固定設置有多個用于放置花籃的脫水籃，所述花籃用于承載晶圓。本實用新型通過在普通的帶有脫水功能的脫水機的脫水筒內設置脫水籃，將盛裝晶圓的花籃放入脫水籃內，調整幾個脫水籃之間的配重，即可實現(xiàn)對晶圓的脫水，其制作成本低，使用成本低，脫水效果好，使用方便，操作簡單。??