一種雙向半導(dǎo)體晶圓測(cè)試夾具
基本信息
申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202021306155.5 | 申請(qǐng)日 | - |
公開(公告)號(hào) | CN212989566U | 公開(公告)日 | 2021-04-16 |
申請(qǐng)公布號(hào) | CN212989566U | 申請(qǐng)公布日 | 2021-04-16 |
分類號(hào) | G01R31/28(2006.01)I;G01R1/04(2006.01)I | 分類 | 測(cè)量;測(cè)試; |
發(fā)明人 | 汪良恩;汪曦凌;李建利 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人 | 安徽芯旭半導(dǎo)體有限公司 |
代理機(jī)構(gòu) | 上海華誠(chéng)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 陳國(guó)俊 |
地址 | 247100安徽省池州市經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)鳳凰大道98號(hào) | ||
法律狀態(tài) | - |
摘要
摘要 | 一種雙向半導(dǎo)體晶圓測(cè)試夾具,涉及半導(dǎo)體晶圓測(cè)試領(lǐng)域,包括底板,所述底板上方固設(shè)用于承載雙向晶圓的載片臺(tái)和用于帶動(dòng)測(cè)試針在豎直方向運(yùn)動(dòng)的橫放的手機(jī)重力支架,所述載片臺(tái)上設(shè)置通孔,雙向晶圓設(shè)置在載片臺(tái)上,所述手機(jī)重力支架的中心與雙向晶圓的中心高度相等且手機(jī)重力支架的兩個(gè)夾臂上對(duì)稱固接兩個(gè)豎直設(shè)置的測(cè)試針,所述測(cè)試針與外部測(cè)試儀器電性連接,手機(jī)重力支架上設(shè)置底托。本實(shí)用新型能夠解決現(xiàn)有技術(shù)中對(duì)雙向晶圓進(jìn)行抽測(cè)浪費(fèi)工時(shí)和抽測(cè)中易導(dǎo)致晶圓碎掉甚至報(bào)廢的問題。?? |
