一種雙向半導(dǎo)體晶圓測(cè)試夾具

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202021306155.5 申請(qǐng)日 -
公開(公告)號(hào) CN212989566U 公開(公告)日 2021-04-16
申請(qǐng)公布號(hào) CN212989566U 申請(qǐng)公布日 2021-04-16
分類號(hào) G01R31/28(2006.01)I;G01R1/04(2006.01)I 分類 測(cè)量;測(cè)試;
發(fā)明人 汪良恩;汪曦凌;李建利 申請(qǐng)(專利權(quán))人 安徽芯旭半導(dǎo)體有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海華誠(chéng)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 陳國(guó)俊
地址 247100安徽省池州市經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)鳳凰大道98號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種雙向半導(dǎo)體晶圓測(cè)試夾具,涉及半導(dǎo)體晶圓測(cè)試領(lǐng)域,包括底板,所述底板上方固設(shè)用于承載雙向晶圓的載片臺(tái)和用于帶動(dòng)測(cè)試針在豎直方向運(yùn)動(dòng)的橫放的手機(jī)重力支架,所述載片臺(tái)上設(shè)置通孔,雙向晶圓設(shè)置在載片臺(tái)上,所述手機(jī)重力支架的中心與雙向晶圓的中心高度相等且手機(jī)重力支架的兩個(gè)夾臂上對(duì)稱固接兩個(gè)豎直設(shè)置的測(cè)試針,所述測(cè)試針與外部測(cè)試儀器電性連接,手機(jī)重力支架上設(shè)置底托。本實(shí)用新型能夠解決現(xiàn)有技術(shù)中對(duì)雙向晶圓進(jìn)行抽測(cè)浪費(fèi)工時(shí)和抽測(cè)中易導(dǎo)致晶圓碎掉甚至報(bào)廢的問題。??